XVP Z 轴平台最高可以抬升1.5kg的负载，并且有纳米级的分辨率。平台使用两个超声压电电机，并可以和其他平台组成XYZ或者XYZR系统。
为了避免误解，平台没有XY方向的移动，只是为了完成 Z 轴方向的移动，水平方向的运动通过一个斜楔转化到 Z 轴方向。
XVP Z 轴平台内部有两台超声压电电机，这可以确保电机本身能够提供足够大的推力而不需要弹簧来抵消重力，在这个基础上，同时保证了纳米量级的分辨率，并完成快速定位。
平台断电自锁，因此散热量大大减少，内部集成编码器，分辨率为1nm 。
• 驱动原理：Crossfixx™超声压电技术
• 轴承：高精度交叉滚珠轴承
• 寿命：运行距离大于300km
• 尺寸：40-120×34×13mm
• 标准行程：27-92mm
• 质量：50-151g（平台）
• 负载：＜0.5kg
• 锁止力：1 N
• 驱动力：1 N
• 平台材料：阳极氧化铝
• 导线长度：1.5m
• 接头：15 针 D-sub 接头或者定制LEMO接头
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参数/型号
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XVP |
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编码器类型 |
请选择编码器分辨率 |
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编码器分辨率 |
1nm |
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位置分辨率 |
25nm = 最小步长 = 最小可移动距离 |
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双向重复精度 |
± 50nm |
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最大速度 |
200mm/s |
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最小速度 |
2-5µm/s |
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速度稳定性 |
± 1% |
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运动误差 |
直线度/平面度误差：± 5-10µm（取决于平台长度） |
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选配 |
真空（10-6 mbar)）：-HV
短壳版有更大的行程：-SC
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环境兼容性 |
温度范围：-20℃ - +50℃
湿度范围：20% - 90% 相对湿度
功耗（电机）：＜1W
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控制器/软件 |
兼容 Xeryon 控制 简单易用 Windows 软件或者 LavView 驱动 C++ 以及 Python libraries 提供 |
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