纳米传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统，灵敏度极高。其能够分辨皮米，分辨率范围可达1.25mm。平行板电容器由两块传感器板（目标和探针）构成。

Queensgate生产各种类型的纳米定位传感器：

NX系列，全金属结构，一般为铝或超殷钢材质。亦可提供其他材质以满足客户的具体需求，详情请咨询Queensgate。

这些传感器可使用Queensgate先进的模拟单通道控制器驱动。

如有需要，可以生产定制的多通道系统以及定制的传感头设计。Queensgate已经为晶圆步进和国际空间站中的应用制造了众多成功的定制系统。我们非常愿意与您探讨您的具体要求。

NanoSensor^®是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。两块传感器板（一个目标和一个探针）即可构成一个平行板电容器。

两块板的间距可以用适当的电子控制器测量，分辨率超过7pm，范围可达1.25mm，频率响应可达10KHz，线性度低至0.02%。由于纳米传感器是一种非接触式方案，因此没有滞后现象。测量点没有功率损耗。