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DPT-E系列纳米促动器使用电容式反馈控制,可实现精准定位。旨在提供高精密度、准确性和速度的纳米定位。

由DPT-E纳米促动器和完全可编程的NanoScan NPC-D-6000系列或NPC-D-5200数字闭环控制器构成的系统是较严苛应用的理想选择。该设备能够在全行程范围内移动高达60kg的负载,电子噪声低且具有高线性度,为作动器定位的精密度、速度和准确性提供了信心。热稳定性较高的超殷瓦钢结构提供了优异的位置稳定性。 DPT-E为高电压DPT-C的换代产品。其行程范围较DPT-C同等型号提升了至少25%,其他方面也有所增强。


注释

• 外壳(在热膨胀回路外)316或316L不锈钢,UHV型号。

• 开环工作模式典型值。

• 全闭环量程推力大于此值可能会导致量程暂时减小。

• 0.5μm步长,空载,快速PID设置和使用数字控制器。

慢速PID设置,数字控制器,标准导线长度,大实际位置,RMS值.较长的导线会增加位置噪声。定制导线长度的线性度和分辨率可能有所变动。

• 使用数字控制器,在全行程的运动误差百分比。

• 促动器位移中间位置测量。

拉力超过这个值会导致促动器需要重新校准,总预加载力是320N,对于较大的拉力需增加外置预加载力附件。

产品特性

• 内置校准

• 高负载,步进稳定时间短

• 行程范围


超高真空度选项

DPT-E系列闭环纳米促动器可以提供真空兼容选项,这些特殊的促动器由低放气材料制造,可以承受90℃的烘烤温度。

高温选项:

DPT-E系列闭环纳米促动器能够在110℃的环境中工作,并能承受130℃的烘烤温度。由于自身发热量的降低,器件也可以在高频动态范围下工作。

无磁选项:

超殷瓦合金更换为无磁性不锈钢。

强辐射选型:

使用抗强辐射降解材料

客户定制方案:

如果对产品有特殊要求,请联系我们定制。

根据不同的系统要求,我们可以提供对应的真空馈通法兰,作为一个整体一起校准。为了保证内部的可替换性,请确保馈通和控制器之间的连接,导线的材料和长度会对位置的准确性产生影响。

参数/型号

DPT-E-20

DPT-E-50

DPT-E-110

DPTE-20-UHV

DPT-E-50-UHV

DPT-E-1100-UHV

备注

材料

超殷瓦合金 (0.35nm/K CTE)

Note 1

长度mm

44.2

76.7

127.8

44.2

76.7

127.8

+/- 0.3

直径mm

20

20 20 20 20 20

Note 1

导线(空气)m

2 2 2 1 1 1

Longer on request

导线(真)m

N/A

N/A

N/A

1 1 1 Longer on request

闭环行程um

20 50 110

20

50 110

Note 2

开环行程um

26 66 145

26

66 145

Typical

最大推力N

3500 3500 3500

3500

3500 3500 Typical

全行程推力N

600 600 600

600

600 600

Note 3

最大拉力N

200 200 200

200

200 200

Note 8

刚性N/um

120 48 21

120

48 21 Typical

响应(稳定)时间ms

2

2.5
<3

2

2.5
<3

Note 4

位置分辨率nm

0.09 0.12 0.15

0.2

0.35 0.4 Note 5

储存温度ºC

-50 to +100

-50 to +100
-50 to +100

-50 to +100

-50 to +100
-50 to +100

工作气压

1 Atm

1 Atm
1 Atm

10-3 to 10-10 Torr

10-3 to 10-10 Torr

10-3 to 10-10 Torr


线性误差(peakto peak)%

<0.03

<0.03
<0.03

<0.08

<0.08
<0.08

Note 6

重复定位精度(rms)nm

0.5 0.6 0.8 0.8 1 1.2 Typical