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MTP是一种内部预载压电开环平移装置,能够移动长达105μm,且分辨率较高。

该作动器采用了高刚性设计,能够产生1000N(MTP-15)的止推力。这一特性使其能够在Z轴向上驱动达10kg(MTP-15)的负载。只需一台0V至120VDC HV放大器即可驱动MTP作动器的整个标称行程范围。此外,如果需要,也可以通过使用-30V至150VDC HV放大器来获得扩展的行程范围。

如果需要小型化和闭环性能,可以将MTP与Queensgate的位置测量系统联用,可提供亚纳米级精度的电容式位置传感,并获得传感器独立于作动器放置的优势,能够自由地将传感器板安装在主机固定装置的任意适当位置。



产品特性

• 15、30、45、75或105μm行程可选,亚纳米级分辨率

• 低电压

• 紧凑小巧

• 高刚性

内部预载 – 高拉力

• VAC和UVAC选项

• 多样的配件

• 金属防护外壳

负载可达10Kg

应用

• 显微镜

• 光束控制

联用Queensgate纳米传感器构成定制闭环系统配置

参数

数值

备注

物理参数

MTP-mm

15 30 45 70 105


直径mm

10


材料

不锈钢


长度mm

30 50 70 110 150


直径mm

10


*行程dxp·max um

>15 >30 >45 >70 >105


最大负载kg

10

Note 1

刚度N/μm

50 25 16 10 7


堆栈电容uF

1.8  3.6  5.4  9.0  12.6


动态参数(典型值)

工作电压VDC

-20 to +120


工作温度°C

+10 to +50


存储温度°C

0 to +70


相对湿度%

5 to 95 (无冷凝)


误差项

*迟滞现象 (锋-锋值)δxp·hyst%

≤13 Note 2

*线性误差 (峰值)δxp·lin%

≤6

Note 2

注释:

*这些参数在各自型号下测量获得

1. 当重力作用于Z方向,不损坏平台的前提下的较大负载

2. 全行程移动误差百分比