MTP是一种内部预载压电开环平移装置，能够移动长达105μm，且分辨率极高。
该作动器采用了高刚性设计，能够产生高达1000N（MTP-15）的止推力。这一特性使其能够在Z轴向上驱动最高达10kg（MTP-15）的负载。只需一台0V至120VDC HV放大器即可驱动MTP作动器的整个标称行程范围。此外，如果需要，也可以通过使用-30V至150VDC HV放大器来获得扩展的行程范围。
如果需要小型化和闭环性能，可以将MTP与Queensgate的位置测量系统联用，可提供亚纳米级精度的电容式位置传感，并获得传感器独立于作动器放置的优势，能够自由地将传感器板安装在主机固定装置的任意适当位置。
• 15、30、45、75或105μm行程可选，亚纳米级分辨率
• 低电压
• 紧凑小巧
• 高刚性
• 内部预载 – 高拉力
• VAC和UVAC选项
• 多样的配件
• 金属防护外壳
• 最高负载可达10Kg
• 显微镜
• 光束控制
• 联用Queensgate纳米传感器构成定制闭环系统配置
参数
数值
备注
物理参数
MTP-mm
15 30 45 70 105
直径mm
10
材料
不锈钢
长度mm
30 50 70 110 150
直径mm
10
*行程dxp·max um
>15 >30 >45 >70 >105
最大负载kg
10
Note 1
刚度N/μm
50 25 16 10 7
堆栈电容uF
1.8 3.6 5.4 9.0 12.6
动态参数(典型值)
工作电压VDC
-20 to +120
工作温度°C
+10 to +50
存储温度°C
0 to +70
相对湿度%
5 to 95 (无冷凝)
误差项
*迟滞现象 (锋-锋值)δxp·hyst%
*线性误差 (峰值)δxp·lin%
≤6
Note 2
注释：
≤13
Note 2
*这些参数在各自型号下测量获得
1. 当重力作用于Z方向，不损坏平台的前提下的最大负载
2. 全行程移动误差百分比
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