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NPS-X-15A/NPS-X-15B薄型快速15微米平台最初是为高速、超精密磁阻磁头和磁盘驱动器检测而设计的。

它的小尺寸和毫秒级响应时间,使其非常适合高可靠性和高通量的应用。低运动质量和高刚性的结合可提供较高的带宽。紧凑的内置电容式传感器,能够在超过16微米的位移范围内提供亚纳米级闭环反馈。柔性铰链导向可实现高纯度的运动,将寄生运动降低至1微弧度(典型值)。使用数字闭环控制器,NPS-X-15A(不锈钢)/NPS-X-15B(铝)可实现毫秒级的响应和稳定时间。

推荐控制器

• NPC-D-5200数字控制器

• NPC-D-6000系列


产品特性

• > 15微米行程,亚纳米级分辨率

一阶谐振频率> 3 KHz(4 kHz NPS-X-15D)

毫秒级响应时间(50g负载)

• 原位扫描和步进响应优化

• 生产测试稳健可靠

• 即插即用设备,停机时间短


应用

• 磁阻磁头和磁盘驱动器检测

• 干涉测量

• 计量

• AFM探针

参数

数值

开环行程um

±10.5

闭环行程um

± 8

标度因数误差

0.001

谐振频率

3500 Hz@0g负载

2500 Hz@50g负载

1500 Hz@200g负载

最大负载kg

3


快速 一 中速 一 慢速

3dB 带宽Hz

450 一 140 一 60

稳定时间ms

1.7 一 4.3 一 25

位置噪声nmrms

0.1 一 0.06 一 0.05

迟滞%

0.005

线性误差%

0.005

旋转误差δφx urad

1

旋转误差δθx urad

1

旋转误差δγx urad

1