NPS-X-15A/NPS-X-15B薄型快速15微米平台最初是为高速、超精密磁阻磁头和磁盘驱动器检测而设计的。
它的小尺寸和毫秒级响应时间，使其非常适合高可靠性和高通量的应用。低运动质量和高刚性的结合可提供极高的带宽。紧凑的内置电容式传感器，能够在超过16微米的位移范围内提供亚纳米级闭环反馈。柔性铰链导向可实现高纯度的运动，将寄生运动降低至1微弧度（典型值）。使用数字闭环控制器，NPS-X-15A(不锈钢)/NPS-X-15B(铝)可实现毫秒级的响应和稳定时间。
• NPC-D-6000系列
• > 15微米行程，亚纳米级分辨率
• 一阶谐振频率> 3 KHz（4 kHz NPS-X-15D）
• 毫秒级响应时间（50g负载）
• 原位扫描和步进响应优化
• 生产测试稳健可靠
• 即插即用设备，停机时间短
• 磁阻磁头和磁盘驱动器检测
• 干涉测量
• 计量
• AFM探针
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参数 |
数值 |
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开环行程um |
±10.5 |
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闭环行程um |
± 8 |
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标度因数误差 |
0.001 |
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谐振频率 |
3500 Hz@0g负载 2500 Hz@50g负载 1500 Hz@200g负载 |
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最大负载kg |
3 |
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快速 一 中速 一 慢速 |
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3dB 带宽Hz |
450 一 140 一 60 |
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稳定时间ms |
1.7 一 4.3 一 25 |
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位置噪声nmrms |
0.1 一 0.06 一 0.05 |
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迟滞% |
0.005 |
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线性误差% |
0.005 |
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旋转误差δφx urad |
1 |
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旋转误差δθx urad |
1 |
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旋转误差δγx urad |
1 |
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