产品中心

NPS-XY-100压电扫描柔性铰链导向平台,带有集成的电容位置传感器,具备亚纳米级的分辨率和可重复性。

柔性铰链导向机制的有限元分析将整个100微米范围内的寄生角运动减少到了25微弧度以下。均衡安装系统可确保来自安装系统的应力降到很低,并将平台的中心确立为坐标参考点。

NPS-XY-100A二轴100µm x 100µm平台超因瓦钢版-由超因瓦低膨胀系数合金CTE 0.3ppm K-1)构成,能够很大限度地减少热漂移,在纳米尺度上这是非常重要的。三点式运动学安装。

NPS-XY-100D二轴100µm x 100µm平台超级铝版-由铝制成。其具有XY-100系列中优异的分辨率和快速的动态性能,且性价比高。四角式固定,安装简单。


推荐控制器

• NPC-D-6330三轴数字控制器


产品特性

单轴> 100微米行程,亚纳米级分辨率

滞后和线性误差< 0.005%

一阶谐振频率>350 Hz(NPS-XY-100A)>500 Hz (NPS-XY-100B) >650 Hz (NPS-XY-100D)

高带宽(> 50 Hz),响应时间短

• 原位扫描和步进响应优化


应用

• 高精度显微镜

• AFM,SPM,NSOM