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NPS-Z-500B-UHV可以在温度80K真空度10-9 torr的环境中实现100μm的全行程。电容式定位传感器提升闭环精度,柔性铰链的设计使其成为了一款高度线性的设备,拥有出色的分辨率、可重复性、刚性和稳定性。低离轴误差和高谐振频率进一步增强了性能。

推荐控制器

• NPC-D-5200数字控制器

• NPC-D-6000系列

产品特性

• 80K UHV下的100μm闭环位移

• 高度并联运动,离轴偏差小

位置噪声<1nm,线性度0.01%,0.02%残余滞后

• 可定制套件,可提供真空和低温版

参数

数值

材质

钛铝合金

尺寸mm

60 x 49.5 x 30 

常温闭环行程um

550

谐振频率Hz

170

稳定时间ms
15

迟滞(peak to peak)%

0.01

线性误差(peak)%

0.02