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H101F 平面型平台是一款最新的,具有创新性的正置显微镜平台。此平台整个台面为一个平面,为客户提供了广阔的空间用于大 N.A 值物镜的使用。

产品特性

• 分辨率0.01 um。

• 对样品平面大小无限制,平台对物镜切换完全无影响。

• 重复精度<=±0.2 µm。

• 可通过RS232或者USB连接控制,兼容大部分第三方软件。

• 可兼容线性编码器。

• 可选电机型号或者高精度滚珠轴承。

• 行程114 x 75 mm。

• 具有消除间隙设计,消除回程误差,限位位置可调

参数

H101P2F/

H101P2B3

H101P1F/

H101P1B3

H101E2F/

H101E2B3

H101E1F/

H101E1B3

行程(mm)
114 x 75
114 x 75
114 x 75
114 x 75
重复精度(um)
± 0.2
± 0.2
± 0.2
± 0.2
分辨率(nm)
40
20
40
20
最大/推荐速度(mm/s)
100/40
50/20
100/40
50/20
单向垂直度(arc sec)
30
30
30
30
承 重(Kg)
10
10
10
10
光栅尺反馈


有(0.1um)
有(0.1um)