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H101F XY电动平台采用平顶设计,兼容大部分显微镜或者光学系统,用户可以通过这款平台自动扫描样品、储存位置点信息用于后续的回溯和检查,保持优异的重复性。H101A可以用于玻片,多孔板,半导体晶圆,金相样品的检测,扫描路径多样,可以走之字,蛇形或者随机路线。 IST技术预存平台校准数据,允许ProScanIII控制器做出调整,保持优异的垂直度以及精度。

产品特性

• 平顶设计

• 适用绝大多数显微镜品牌

• 1μm 的重复定位精度

• 运行安静平稳

• 多种夹具可供选择

• IST智能扫描技术 (U.S. Patent 7,330,307)

参数/型号

H101P2F

H101P1F

H101E2F

H101E1F

重复精度μm

+/- 0.7(0.2)

+/- 0.7(0.2)

+/- 0.7(0.2)

+/- 0.7(0.2)

分辨率μm

0.04

0.02

0.04

0.02

推荐速度mm/s

40(100)

20(50)

20(50)

20(50)

行程mm

114 X 75

114 X 75

114 X 75

114 X 75

负载kg

10

10

10

10

螺距mm

2

1

2

1

电机步数

200

200

200

200

线性编码器精度um

0.1

0.1