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H112 XY电动平台是半导体晶圆，光掩模板，平面显示器以及印刷电路板的理想检测工具。平台可以容纳12英寸（300mm）的晶圆，并能和一些晶圆搬送的机械臂配合使用。如果配合透射光源使用，平台可以提供250×250mm的通孔区域。
产品中心
产品特性
• 适配大多数显微镜
• ±0.7 µm 重复定位精度
• 100nm 分辨率直线编码器
• 样品夹具种类众多
• 302×302 mm 行程
• 兼容ProScan 2 代以及以后的控制器
• 使用Prior ProScan 控制器可以使用回程差修正，重复定位精度为双向
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参数/型号 |
H112ARNN |
H112ARN1 |
H112BRNN |
H112BRN2 |
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重复精度μm |
+/- 0.7 |
+/- 0.7 |
+/- 0.7 |
+/- 0.7 |
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分辨率μm |
0.04 |
0.01 |
0.1 |
0.5 |
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推荐速度mm/s |
40 |
40 |
40 |
40 |
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行程mm |
302 X 302 |
302 X 302 |
302 X 302 |
302 X 302 |
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负载kg |
14.5 |
14.5 |
14.5 |
14.5 |
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螺距mm |
2 |
2 |
5 |
5 |
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电机步数 |
200 |
200 |
200 |
200 |
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线性编码器精度um |
No |
0.1 |
No |
0.5 |
