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H112 是一款大行程的正置显微镜平台。此平台行程为302x302 mm,可以用于12”晶圆的检测,是电动二维移动平台在半导体行业应用的理想解决方案。

产品特性

• 平台行程302 x 302 mm (12” x 12”)

• 重复精度± 0.7 μm

• 大范围扫描,同时具有高精度和高重复精度。

• XY轴限位可调。

• 可选2 mm 或者5 mm 滚珠导轨。

• 可选光栅尺。

参数
H112/2
HE12/2
行程(mm)
302 x 302
302 x 302
重复精度(um)
0.7
0.7
分辨率(um)
0.04
0.1
建议速度(mm/s)
40
40
载重(Kg)
25
25
自重(Kg)
14.5
14.5
光栅尺反馈

有(0.1um)