产品特性

• 平台行程114 x 75 mm

• 特有智能扫描技术(IST) 提高了平台运行的精度。

• 平台表面的平整化设计方便于扩展应用，如增加机械操作手，环境试验箱及自动换片机等。

• 可选 50nm 光栅尺，提高平台运行的精度。

• 有多种附件可供选择，用于加持玻片、多孔板、培养皿及各种材料类样品等。

• 分辨率达10nm。

• 消回程差设计。