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H105兼容大部分正置显微镜，行程范围大，可以放置大样品如半导体晶圆，光掩模版，印刷电路板，是材料科学应用的选择。可更换的样品夹适用于各种应用，分辨率高以及优异的重复定位精度，是材料应用的选择。
产品中心
产品特性
• 可选100nm线性刻度。
• 0.04微米分辨率
• 阶段定制适合任何正直的显微镜或光学系统。
• 闭环功能，可选旋转或线性编码器
• ProScan®III 控制系统
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参数/型号 |
H105/2 |
HE05/2 |
H105NL/2 |
HE05NL/2 |
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行程mm |
154 x 154 |
154 x 154 |
154 x 154 |
154 x 154 |
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重复精度μm |
± 0.7 μm |
± 0.7 μm |
± 0.7 μm |
± 0.7 μm |
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分辨率nm |
40 |
40 |
40 |
40 |
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推荐速度mm/s
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24 |
24 |
24 |
24 |
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负载kg
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20 | 20 | 20 | 20 |
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线性编码器精度 |
无 |
0.1 um |
无 |
0.1 um |
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螺距mm |
2 | 2 |
2 |
2 |
