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H105兼容大部分正置显微镜,行程范围大,可以放置大样品如半导体晶圆,光掩模版,印刷电路板,是材料科学应用的选择。可更换的样品夹适用于大部分应用,分辨率高以及优异的重复定位精度,是材料应用的选择。

产品特性

可选100nm线性刻度。

• 0.04微米分辨率

• 阶段定制适合任何正直的显微镜或光学系统。

• 闭环功能,可选旋转或线性编码器

• ProScan®III 控制系统

参数/型号

H105/2

HE05/2

H105NL/2

HE05NL/2

行程mm

154 x 154

154 x 154

154 x 154

154 x 154

重复精度μm

± 0.7 μm

± 0.7 μm

± 0.7 μm

± 0.7 μm

分辨率nm

40

40

40

40

推荐速度mm/s

24

24

24

24

负载kg
20 20 20 20

线性编码器精度

0.1 um

0.1 um

螺距mm

2 2

2

2