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H116 Stage 是一款通用型正置显微镜平台,可以与市场上大部分型号的显微镜相匹配。配合我们提供的各类样品夹具,广泛应用于生物医药、病理学、半导体、电子电路、金属及汽车清洁度等领域。

产品特性

• 平台行程255 x 216 mm

• 光栅尺位置反馈可以提供精确的位置参数。

• 大范围扫描,同时具有高精度和高重复精度。

• XY 轴限位可调。

• 可选2 mm 或者5 mm 滚珠导轨。


参 数
H116/2
HE16/2
行程(mm)
255 x 216
255 x 216
重复精度(um)
± 0.7 μm
± 0.7 μm
分辨率(nm)
40
40
建议速度(mm/s)
40
40
载 重(Kg)
25
25
光栅尺反馈
有(0.1um)