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产品中心
X-LDM-AE系列平台是采用计算机控制的线性电动位移平台,它适用于对精度、速度和重复精度都有很高的应用场合。中心安装线性编码器保证了位移精度1um和最小步长25nm。X-LDM-AE系列采用了高精度无铁心线性马达,提供高速和高精度位移,同时将发热降到最小提高了重复精度。驱动器和编码器均采用无导线连接,保证了低故障和长寿命。

产品特性

  高重复精度(80 nm)和定位精度(1 µm),最小位移量25nm。
  位置编码器精度1nm,直接位置检测。
  速度可达1.2 m/s,加速度3.5g
  行程可选60, 110, 210 mm
  内置控制器,与其它产品菊式链接
•  非接触式无铁心线性马达保证了高精度、高动态和零回程差
  可直接组合XY位移平台

产品参数
内置控制器
精度(单向) 1um
重复精度 < 0.08 μm
最小增量位移 25nm
最大速度 1200 mm/s
编码器类型 线性编码器
编码器精度 1nm
峰值推力 60 N