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H105F兼容大部分正置显微镜，行程范围大，可以放置大样品如半导体晶圆，光掩模版，印刷电路板，是材料科学应用的选择。 可更换的样品夹适用于大多数应用，分辨率高以及优异的重复定位精度，是材料应用的选择。
产品中心
产品特性
• ±0.7 μm重复定位精度，具有位点存储的能力供以后检查和分析
• ＜1 μm分辨率
• IST技术加持以及平台扫描系统
• 带有可调限位开关的防反冲机制
• 可升级光栅编码器，提升准确性
• 多功能：可以使用ProScan3 控制器
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型号/参数
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行程mm |
重复精度μm |
分辨率nm |
推荐速度mm/s |
负载kg |
线性编码器精度 |
螺距mm |
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H105N2F |
154 x 154 |
± 0.7 μm |
40 |
24 |
10 | 无 | 2 |
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HE05E2F |
154 x 154 |
± 0.7 μm |
40 | 24 | 10 |
0.1 um |
2 |
