Queensgate 推出新型多轴纳米定位平台，动态性能卓越

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2025-08-05 11:58:02

虹渐光电

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Queensgate Instruments 扩展了其高性能纳米定位平台产品线，推出一款三轴高动态定位平台。

QGNPS-XYZ-100D-20H 平台搭载 Queensgate 久经实践验证的 NanoMechanism 技术，XY 轴行程达 100 微米，Z 轴行程为 20 微米。集成电容式定位传感器提供优异的精度和准确度：XY 轴的分辨率为 0.25 纳米，Z 轴分辨率为 0.085 纳米，三轴重复定位精度均达 0.5 纳米。

当与 QGNPC-D-6330 多通道数字控制器结合使用时，该平台可提供卓越的动态性能。平台插头内置芯片用于储存校准数据实现即插即用，控制器可替换使用。

QGNPS-XYZ-100D-20H 采用高刚性结构设计，旋转误差小：柔性铰链导向结构确保 XY 轴在整个 100 微米行程范围内俯仰和偏航误差均小于 25 微弧度。铝制结构实现亚毫秒级快速响应，四角式固定确保动态稳定性。

该平台为高精度显微领域设计，适配原子力显微镜（AFM）、扫描探针显微镜（SPM）和近场扫描光学显微镜（NSOM）等应用领域。

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