压电定位Z轴平台

闭环压电促动平台。标准平台提供不同的材质,主要包含了超级殷瓦合金,不锈钢,钛合金,铝合金。适合在真空,强辐射,高温的环境中工作。同时我们也提供客户定制型号。

我们可以提供线性平台,偏转台用来构建单轴或者多轴系统,使用高性能压电控制器,电容位置反馈获得完整的闭环控制系统。当使用数字控制器时,支持即插即用功能。

产品选型
型号 图片
方向
材料
行程 μm
负载 kg
线性误差 %
重复定位精度 nm
NPS-XYZ-100D-20H
XYZ
铝(镀镍)
100 × 100 × 20
0.5
0.005
0.5
NPS-X-250B
X
铝(镀镍)
250
6
0.004
NA.
NPS-Z-500B-UHV
Z
钛铝合金
550
NA.
0.1
NA.
NPS-Z-500C
Z
铝/不锈钢
500
NA.
0.002
5
WP-Z-120A
Z
不锈钢
120
14
0.10
5.5
OP200
Z
不锈钢
200 闭环
0.5
0.01
1

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