高精度定位：Queensgate 推出新型高负载压电平台

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2025-08-05 15:44:35

虹渐光电

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Queensgate Instruments 近期推出了一款能够承载高达 6 kg 负载、具有放大功能的高负载平台，扩展了其高性能纳米定位压电平台产品系列。该平台的测量范围为 250 微米，有两种配置可供选择：用于水平移动的 QGNPS-X-250B 和用于垂直移动的 QGNPS-Z-250B。两种配置均具备精密制造应用所需的亚纳米级分辨率。

正如 Queensgate 产品经理 Craig Goodman 所解释的那样，该平台通过将柔性铰链与电容式传感器相结合来实现其高精度运动：

“该系统具有柔性铰链导向运动功能，几乎消除了旋转误差。电容式传感器直接测量平台的运动，结合压电促动器近乎无限的分辨率和我们的低噪声电子控制设备，确保高精度的定位。”

用户可以选择适合其应用和有效载荷的校准参数，以实现快速的步进稳定时间。大负载能力下，2 微米步长仅为 18 毫秒。这款平台为要求严苛的高精度工业应用而设计，典型用途包括：

● 物镜转盘定位

● 白光表面计量

● 半导体检测

● 精密制造

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