Queensgate 的紧凑型长行程压电平台

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2025-08-05 16:34:11

虹渐光电

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Queensgate 的紧凑型长行程压电平台，具有同类产品中优异的高性能定位能力。

Queensgate 的 NPS-Z-500C 压电平台为各种显微成像和材料检测应用提供无与伦比的定位精度和准确度。占用空间小，便于集成到仪器和测试设备中，非常适合定制项目。

这款载物台可在闭环模式下实现 500 微米的行程。得益于柔性铰链导向带来的低误差运动特性，使其在整个行程范围内均能保持平台的平整度，并且旋转误差也控制在 0.0025° 以内。如应用在测试探针或生命科学样品等场景中，即使存在一定范围内的悬臂载荷也不会影响压电平台的精度。该平台采用 Queensgate 的电容式定位传感器，具有市场先进的 2 纳米分辨率和 5 纳米可重复性，线性误差小于 0.002%。仅 10 毫秒的整定时间使用户能够快速扫描样品，而不会损失精度。

NPS-Z-500C 的一个关键优势是其即插即用功能。载物台的接头内置芯片用于储存校准数据，实现即插即用，控制器可替换使用。与 NPD-D-6110 控制器结合使用，可提供模拟命令输入和定位输出（0-10 V 或 ±10V），以及 USB、RS-232 和以太网数字通信。DLL 接口有助于使用标准软件包进行控制，例如 Queensgate Nanobench、μManager、Metamorph 和 Elements via RS232C。

NPS-Z-500C 是一款适用范围广泛的纳米定位设备，其应用范围从高精度显微镜和半导体元件测试到天文学和光学工程，如反射镜位置调节。

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