两轴XY压电台
单轴>100 微米行程,亚纳米级分辨率
滞后和线性误差<0.005 %
一阶谐振频率>350 Hz
高带宽(>50 Hz),响应时间短
原位扫描和步进响应优化
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| 参数/型号 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-XY-100A | XY |
铝(镀镍) |
100 ×100 |
1 |
0.005 |
0.6 |
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