闭环压电促动平台。标准平台提供不同的材质,主要包含了超级殷瓦合金,不锈钢,钛合金,铝合金。适合在真空,强辐射,高温的环境中工作。同时我们也提供客户定制型号。
我们可以提供线性平台,偏转台用来构建单轴或者多轴系统,使用高性能压电控制器,电容位置反馈获得完整的闭环控制系统。当使用数字控制器时,支持即插即用功能。
型号 | 图片 | 材料 |
行程 μm |
负载 kg |
线性误差 % |
重复定位精度 nm |
NPS-X-28C | ![]() |
钛合金 |
28 |
10 |
<0.007 |
NA. |
NPS-TG-7A | ![]() |
殷瓦36 |
7 mard |
NA |
0.03 |
0.2 urads |
NPS-X-15A | ![]() |
不锈钢 |
15 |
3 |
0.005 |
NA. |
NPS-X-15B | ![]() |
铝合金 |
15 |
0.5 |
0.005 |
NA. |
NPS-XY-100A | ![]() |
殷瓦合金 |
100 × 100 |
1 |
<0.01 |
NA. |
NPS-Z-500B-UHV | ![]() |
钛铝合金 |
550 |
NA. |
0.1 |
NA. |
WP120A | ![]() |
不锈钢 |
120 |
14 |
0.10 |
5.5 |
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