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NPS-Z-500B-UHV
500 μm长行程压电台
80K UHV下的100μm闭环位移
高度并联运动，离轴偏差较小
位置噪声＜1nm，线性度0.01%，0.02%残余滞后
可定制套件，可提供真空和低温版
出色的分辨率、可重复性、刚性和稳定性
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产品描述
NPS-Z-500B-UHV 可以在温度 80 K 真空度 10-9 torr 的环境中实现 100 μm 的全行程。电容式定位传感器提高闭环精度，柔性铰链的设计使其成为了一款高度线性的设备，拥有出色的分辨率、可重复性、刚性和稳定性。低离轴误差和高谐振频率进一步增强了性能。
特性
● 80 K UHV 下的 100 μm 闭环位移
● 高度并联运动，离轴偏差较小
● 位置噪声 ＜1 nm，线性度 0.01 %，0.02 % 残余滞后
● 可定制套件，可提供真空和低温版
● 出色的分辨率、可重复性、刚性和稳定性
推荐控制器
● NPC-D-5200 数字控制器
● NPC-D-6000 系列
产品参数
| 参数/型号 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-Z-500B-UHV | 钛铝合金 |
550 |
NA. |
0.1 |
NA. |
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