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WP-Z-120 A 晶圆定位系统ms级的响应时间以及高带宽是高速、高通量应用的理想。平台可以装载 12寸，300 mm 的晶圆，负载 8 kg 的晶圆卡盘，在这个基础上提供卓越的定位性能。
平台内置电容位置传感器，可以获得纳米级别的位移传感，为平台移动提供闭环控制。柔性铰链确保在平台 120 µm 的行程范围内，提供无摩擦的稳定运动。通过 QG 独有的数字闭环控制器，可以使平台快速响应且比较短的整定时间。
应用
● 玻片以及掩膜检测
● SEM/TEM 电子显微镜
● 干涉测量以及计量学
● 显微镜应用
● 材料检测
● 镜面定位
定制方案
● 真空环境版本用于真空腔中的电子显微镜
● 超高真空以及真空-辐射环境使用 Kapton 电缆
● 高负载版本可以提高到 14 kg
● 带偏摆功能的Z轴可以用于水平调整以及扫描
● 160 µm 加长行程
● 200 mm 直径晶圆
● 和 H112 电动平台兼容的转接口
产品参数
| 参数/型号 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| WP120A | 不锈钢 |
120 |
14 |
0.10 |
5.5 |
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电话：021-52996090邮箱：sales@raarrow.com传真：021-52996090
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