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XWS

行程 130 × 100 mm

采用Crossfixx 超声波压电技术

可配备50 nm编码器，分辨率可达 50 nm

速度可达 250 mm/s

寿命超过 1000 km 或 2000万次循环

产品描述

产品参数

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产品描述

核心优势

XWS 系列 XY 压电平台是一款集成式高精度定位系统，采用超声波压电电机驱动，专为纳米级精度运动控制设计。该平台结合了高速定位与纳米级精度，可在 130 ch 100 mm 范围内实现稳定的平面运动，适用于显微镜、材料科学、半导体检测等对精度和稳定性要求较高的应用场景。

一、超声波压电驱动技术

采用 Crossfixx 超声波压电技术，无电磁干扰，运行噪音低且无振动。

电机具备自锁定功能，断电后仍能保持位置，确保系统安全。

低发热设计，保障长时间稳定运行。

二、高精度与高速度

闭环位置控制确保纳米级定位精度，分辨率可达 50 nm（根据型号不同）。

速度可达 250 mm/s，支持快速点到点移动。

双向重复定位精度 ±100 nm，稳定性优异。

三、长寿命与高可靠性

精密直线循环滚子轴承，寿命超过 1000 km 或 2000 万次循环。

被动保持刚度高达 1 N/μm，抗外界干扰能力强。

负载能力 3 kg，适用于多种实验配置。

四、灵活适配性

提供多种载物台插件：标准 M6 面包板、空白插件、多孔板适配器等，支持定制化需求。

环境适应性强：工作温度 +10°C 至 +40°C，湿度 ≤ 75% RH（非冷凝）。

五、应用领域

● 显微镜与成像技术

● 纳米加工与检测

● 生物医学研究

● 半导体制造与检测

● 光学仪器校准

六、尺寸图

Crossfixx压电电机

● 压电电机并非一定速度慢、噪音大且价格昂贵。基于Crossfixx 技术的超声压电电机是我们所有运动产品的核心。

● 它标志着运动控制领域的一项突破，因为它兼具压电技术的所有优势，却没有通常与之相关的缺点。紧凑的 Crossfixx 电机将速度、精度、行程范围和动力与耐用、静音运行相结合，是目前市面上多种微型电机的优质替代品。

基于Crossfixx技术的电机基于两种共振频率一致的共振模式

● 第一种模式使压电陶瓷产生均匀的径向膨胀，其中接触点垂直于载物台振动。
● 第二种模式的特点是平面内弯曲，接触点平行于载物台振动。
● 通过结合这两种模式，电机的尖端将沿椭圆轨迹运动。振动尖端的位移很小，亚微米量级，但由于这种椭圆运动以 166 千赫兹的频率重复，可实现高达 1000 毫米 / 秒的速度。

超声运行的优势

● 该电机以 166 千赫兹的频率共振，远高于人耳的听觉极限。因此，电机能够静音运行。

● 166 千赫兹也远高于大多数机械系统的截止频率，所以对周围机械系统的机械干扰可以忽略不计。

● 共振运行还将激励电压降低到安全限度。运行电压低至 20 伏是可行的，而对于要求较高的应用，电压可提高到 48 伏。

固定方式

电机固定在中心孔处，该中心孔是两种模式的节点。这有诸多优点：

● 电机不会通过这个固定点向周围环境传递振动

● 固定对模式和相应共振频率的影响较小

● 对称固定，减少热漂移

● 固定方式紧凑

产品参数

参数/型号	行程 mm	重复精度 μm	分辨率 μm	速度 mm/s	负载 kg	编码器精度 μm	螺距 mm
XWS	130 × 100	± 0.01	1 0.25 0.05	250	3	1 0.25 0.05	No

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产品资料

Xeryon XWS-series v1.2

298.07KB

2026-01-12

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使用手册

Xeryon XWS operating manual v2.01

994.73KB

2026-01-12

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软件以及二次开发

WSB Flex Move Setup

71.66MB

2026-01-12

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3D模型文件

XWS-series

1.10MB

2026-01-12

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