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NPS-X-250B
高负载压电平台，带电容式定位传感器
250 微米行程，亚纳米级分辨率。
误差迟滞通常为 0.005%。
线性误差为 0.004%。
负载能力高达 6 千克。
具有放大功能的柔性铰链。
使用电容式定位传感器直接测量移动平台。
可在水平或垂直方向进行校准，以获得优异性能。
产品描述
产品参数
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产品描述
高负载压电平台 带电容式定位传感器
Queensgate 的纳米定位平台（NPS）系列旨在严苛的高速和高精度应用提供优异性能。
NPS-X-250B / NPS-Z-250B 高负载铰链放大版本支持 X（水平）或 Z（垂直）方向进行校准，以便在客户的系统中实现优异性能。
柔性铰链导向运动大限度地减少了旋转误差，通过低噪声电容式定位传感器对移动平台进行直接测量，确保了高精度的定位。
用户可选择的校准参数为不同有效载荷（标准高达 6 kg）的快速步进和稳定提供优佳调谐。
特性
● 250 微米行程，亚纳米级分辨率。
● 误差迟滞通常为 0.005%。
● 线性误差为 0.004%。
● 负载能力高达 6 千克。
● 具有放大功能的柔性铰链。
● 使用电容式定位传感器直接测量移动平台。
● 可在水平或垂直方向进行校准，以获得优异性能。
应用
● 物镜转盘定位
● 白光表面计量
● 半导体检测
● 精密制造
推荐控制器
● NPC-D-6000 系列
产品参数
| 参数/型号 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-X-250B | X |
铝（镀镍） |
250 |
6 |
0.004 |
NA. |
| NPS-Z-250B | Z |
铝（镀镍） |
250 |
6 |
0.004 |
NA. |
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控制器
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