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NPS-XYZ-100D-20H
三轴压电驱动平台
XY 轴行程为 100 微米
Z 轴行程为 20 微米
XY 轴分辨率为 0.25 纳米
Z 轴分辨率为 0.085 纳米
XY 和 Z 轴的可重复性为 0.5 纳米
即插即用，控制器可替换使用，减少系统停机时间
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产品描述
三轴压电驱动 柔性铰链导向平台
NPS-XYZ-100D-20H 平台搭载 Queensgate 的 NanoMechanism 技术，XY 轴的行程为 100 × 100 微米，Z 轴为 20 微米。
平台的柔性铰链结构确保 XY 轴平台在在整个 100 微米范围内运动时俯仰和偏航时小于 25 微弧度。
集成的电容式定位传感器具备亚纳米分辨率。
NPS-XYZ-100D-20H 材质为铝。
当载物台与 QGNPC-D-6330 多通道数字控制器结合使用时，可提供先进的动态性能。
特性
● XY 轴行程为 100 微米
● Z 轴行程为 20 微米
● XY 轴分辨率为 0.25 纳米
● Z 轴分辨率为 0.085 纳米
● XY 和 Z 轴的可重复性为 0.5 纳米
● 原位扫描和步进响应优化
● 插头内置芯片用于储存校准数据实现即插即用，控制器可替换使用，减少系统停机时间
● 四角式固定实现卓越的动态稳定性
● 坚固可靠
应用
● AFM、SPM、NSOM
● 高精度显微镜
推荐控制器
● QGNPC-D-600 系列
产品参数
| 参数/型号 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-XYZ-100D-20H | XYZ |
铝（镀镍） |
100 × 100 × 20 |
0.5 |
0.005 |
0.5 |
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控制器
电话：021-52996090邮箱：sales@raarrow.com传真：021-52996090
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