ELEV-5N

纳米分辨率垂直运动平台

行程(Z):10 mm

分辨率:2 nm

较小可移动增量:2 nm

双向重复性:± 100 nm (典型值 @ ± 5 mm 行程)

推力/拉力:5 N (至少)

锁止力(电源关闭时):6 N(小)

产品描述

产品参数

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产品描述
我们提供的 45 系列垂直升降台特点为平整、占用空间仅为 45 × 45 毫米,垂直方向的行程为 10 毫米,可提供 5 N 的推力。
模块化系统中的所有产品均互相兼容且可轻松组合成多轴系统,提供平稳的连续运动、快速的步进和整定时间以及静止时自锁功能。
此款微型压电 Z 轴平台可垂直升降高达 1 公斤的重量,运动平稳连续,静止时可自锁。
平台可通过控制器和软件来轻松控制,C++ DLLs 方便软件二次开发。
特性
行程(Z):10 mm
分辨率:2 nm
较小可移动增量:2 nm
双向重复性:± 100 nm (典型值 @ ± 5 mm 行程)
推力/拉力:5 N(至少)
锁止力(电源关闭时):6 N(小)
产品参数
型号 ELEV-5N
定位  
 行程(Z 10 mm
 定位传感器 光栅编码器
 分辨率 2 nm
 较小运动增量 2 nm
 双向重复定位精度 ± 100 nm(典型值 ± 5 mm 行程)
 直线度和平面度 ± 2 µm(典型值)
 偏摆 Pitch ± 150 µrad(典型值)
 偏摆 Yaw ± 150 µrad(典型值)
运动性能  
 较大推力/拉力 5 N(至少)
 锁止力(电源关闭时) 6 N(小)
 较大速度(空载时) 8 mm/s
 较大速度(大作用力时) 5 mm/s(小)
驱动类型  
 电机驱动 压电驱动
机械性能  
 较大负载 0.5 kg
 铰链模式 交叉滚柱轴承
 尺寸 45 × 45 × 38 mm
 重量(不包含电缆&连接器) 160 g(± 10 %
其他  
 线缆 2 m 线缆(± 5 %ix Industrial 连接器
 材质

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

产品参数
参数/型号 行程 (Z) mm 分辨率 nm 较小可移动增量 nm 双向重复性 nm (typ. @ ± 5 mm travel) 偏摆 Pitch 偏摆 Yaw 推力/拉力 N 真空兼容性
ELEV-5N
10
2
2
± 100
± 150
± 150
5  (min.)
-
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STEP Elevation

219.78KB

2025-10-14

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