产品描述
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| 型号 | ELEV-5N |
| 定位 | |
| 行程(Z) | 10 mm |
| 定位传感器 | 光栅编码器 |
| 分辨率 | 2 nm |
| 较小运动增量 | 2 nm |
| 双向重复定位精度 | ± 100 nm(典型值 @ ± 5 mm 行程) |
| 直线度和平面度 | ± 2 µm(典型值) |
| 偏摆 Pitch | ± 150 µrad(典型值) |
| 偏摆 Yaw | ± 150 µrad(典型值) |
| 运动性能 | |
| 较大推力/拉力 | 5 N(至少) |
| 锁止力(电源关闭时) | 6 N(小) |
| 较大速度(空载时) | 8 mm/s |
| 较大速度(大作用力时) | 5 mm/s(小) |
| 驱动类型 | |
| 电机驱动 | 压电驱动 |
| 机械性能 | |
| 较大负载 | 0.5 kg |
| 铰链模式 | 交叉滚柱轴承 |
| 尺寸 | 45 × 45 × 38 mm |
| 重量(不包含电缆&连接器) | 160 g(± 10 %) |
| 其他 | |
| 线缆 | 2 m 线缆(± 5 %)ix Industrial 连接器 |
| 材质 | 铝 |
| 参数/型号 | 行程 (Z) mm | 分辨率 nm | 较小可移动增量 nm | 双向重复性 nm (typ. @ ± 5 mm travel) | 偏摆 Pitch | 偏摆 Yaw | 推力/拉力 N | 真空兼容性 |
| ELEV-5N | 10 |
2 |
2 |
± 100 |
± 150 |
± 150 |
5 (min.) |
- |
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