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ELEVHV-10N
真空纳米分辨率垂直运动平台
行程（Z）：10 mm
分辨率：2 nm
较小可移动增量：2 nm
双向重复性：± 100 nm （典型值@ 全行程）
推力/拉力：10 N （至少）
锁止力（电源关闭时）：11 N（小）
产品描述
产品参数
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产品描述
我们提供的 45 系列压电 Z 轴平台有标准版和高真空版两种。均采用平顶设计，占用空间仅为 45 × 45 毫米，垂直方向的行程为 10 毫米，并提供 10 N 的推力。
微型真空压电 Z 轴平台为低至 10-4 Pa 的高真空环境而设计。每个平台都配有真空端电缆（PTFE 涂层电线，编织金属套管），末端为 DB9 母头。 每个平台还配有空气端 DB9 母头转 ix-Industrial 接口的线缆。将真空端和空气端线缆连接到 DB9 馈通接口，将空气端的 ix-Industrial 连接器连接到控制器，即可开始使用！
模块化系统中的所有产品均互相兼容且可轻松组合成多轴系统，提供平稳的连续运动、快速的步进和整定时间以及静止时自锁功能。
特性
● 行程（Z）：10 mm
● 分辨率：2 nm
● 较小可移动增量：2 nm
● 双向重复性：± 100 nm （典型值@ 全行程）
● 推力/拉力：10 N （至少）
● 锁止力（电源关闭时）：11 N（小）
产品参数
| 型号 | ELEVHV-5N |
| 定位 | |
| 行程（Z） | 10 mm |
| 定位传感器 | 光栅编码器 |
| 分辨率 | 2 nm |
| 较小运动增量 | 2 nm |
| 双向重复定位精度 | ± 100 nm（典型值 @ 全行程） |
| 直线度和平面度 | ± 2 µm（典型值） |
| 偏摆 Pitch | ± 150 µrad（典型值） |
| 偏摆 Yaw | ± 150 µrad（典型值） |
| 运动性能 | |
| 较大推力/拉力 | 10 N（至少） |
| 锁止力（电源关闭时） | 11 N（小） |
| 较大速度（空载时） | 8 mm/s |
| 较大速度（大作用力时） | 1 mm/s（小） |
| 驱动类型 | |
| 电机驱动 | 压电驱动 |
| 机械性能 | |
| 较大负载 | 1 kg |
| 铰链模式 | 交叉滚柱轴承 |
| 尺寸 | 45 × 45 × 38 mm |
| 重量（不包含电缆&连接器） | 160 g（± 10 %） |
| 其他 | |
| 真空端电缆 | 0.5 m 电缆 （± 5%）带 f. DB9 连接器 |
| 空气端电缆 | 2 m 电缆 （± 5%）带 f. DB9 和 ix Industrial 连接器 |
| 材质 | 铝 |
产品参数
| 参数/型号 | 行程 (Z) mm | 分辨率 nm | 较小可移动增量 nm | 双向重复性 nm (typ. @ ± 5 mm travel) | 偏摆 Pitch | 偏摆 Yaw | 推力/拉力 N | 真空兼容性 |
| ELEVHV-10N | 10 |
2 |
2 |
± 100 |
± 150 |
± 150 |
10 (min.) |
10-6 mbar |
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产品资料
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