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NPS-XY-100D
两轴XY压电台
单轴＞100 微米行程，亚纳米级分辨率
滞后和线性误差＜0.005 %
一阶谐振频率＞650 Hz
高带宽（＞50 Hz），响应时间短
原位扫描和步进响应优化
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产品参数
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产品描述
NPS-XY-100 压电扫描柔性铰链导向平台，带有集成的电容位置传感器，具备亚纳米级的分辨率和可重复性。
柔性铰链导向机制的有限元分析将整个 100 微米范围内的寄生角运动减少到了 25 微弧度以下。独特的均衡安装系统可确保来自安装系统的应力降低，并将平台的中心确立为坐标参考点。
NPS-XY-100 A 二轴 100 × 100 µm 平台超殷瓦钢板-由超殷瓦低膨胀系数合金（CTE 0.3ppm K-1）构成，能够较大限度的减少热漂移，在纳米尺度上这是非常重要的。三点式运动学安装。
NPS-XY-100 D 二轴 100 × 100 µm 平台超铝版-由铝制成。其具有 XY-100 系列中优异的分辨率和较快的动态性能，且性价比高。四角式固定，安装简单。
特性
● 单轴 ＞100 微米行程，亚纳米级分辨率
● 滞后和线性误差 ＜0.005%
● 一阶谐振频率 ＞650 Hz
● 高带宽（＞50 Hz），响应时间短
● 原位扫描和步进响应优化
应用
● 高精度显微镜
● AFM，SPM，NSOM
推荐控制器
● NPC-D-6000 系列
产品参数
| 参数/型号 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-XY-100D | XY |
殷瓦合金 |
110 × 110 |
0.5 |
0.003 |
0.5 |
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