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高负载Z轴平台
XVP Z 轴平台内部有两个超声压电电机，这可以确保电机本身能够提供足够大的推力而不需要弹簧来抵消重力，在这个基础上，同时确保纳米量级的分辨率，并完成快速定位。 平台可以抬升 1.5 kg 的负载，并可以和其他平台组成 XYZ 或者 XYZR 系统。为了避免误解，平台没有 XY 方向的移动，只是为了完成Z轴方向的移动，水平方向的运动通过一个斜楔转化到Z轴方向。 平台断电自锁，因此散热量大大减少，内部集成编码器，分辨率为 1 nm。
特性
● 驱动原理：Crossfixx 超声压电技术
● 轴承：高精度交叉滚珠轴承
● 寿命：运行距离大于 1000 km
机械特性
● 行程：50 mm
● 重量（平台）：572 g
● 负载：＜1.5 kg
● 锁止力：30 N
● 驱动力：30 N
● 平台材料：阳极氧化铝
● 导线长度：1.5 m
● 接头：15 针 D-sub 接头或者定制 LEMO 接头
运动性能（闭环）
● 编码器类型：请选择编码器分辨率
● 编码器分辨率：1 nm
● 位置分辨率：25 nm
● 双向重复精度：± 50 nm
● 较大速度：200 mm/s
● 较小速度：2 — 5 µm/s
● 速度稳定性：± 1%
运动误差
● 直线度/平面度误差：± 5 — 10 µm 取决于平台长度
选配
● 真空（10 -6 mbar）：-HV
● 短壳版有较大的行程：-SC
环境兼容性
● 温度范围：-30°C — +70°C
● 湿度范围：20 % — 90 % 相对湿度
● 功耗（电机）：＜10 W
控制器/软件
● 兼容 Xeryon 控制
● 简单易用 Windows 软件或者 LavView 驱动
● C++ 以及 Python libraries 提供
产品参数
| 参数/型号 | 行程 (Z) mm | 分辨率 nm | 较小可移动增量 nm | 双向重复性 nm (typ. @ ± 5 mm travel) | 偏摆 Pitch | 偏摆 Yaw | 推力/拉力 N | 真空兼容性 |
| XVP-80 | 10 |
1250 312 78 5 |
1250 312 80 50 |
2500 700 160 100 |
140 |
60 |
30 |
10-6 mbar 10-9 mbar |
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