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紧凑&准确的线性平台
XLS 系列精密线性平台由超声压电电机驱动，获得微米量级的快速移动定位的能力。当平台断电的时候，还具有自锁能力，平台散热因此也大大减少。内置编码器分辨率 1.25 µm。
关键特性
● Crossfixx 超声压电技术
● 轴承：高精度交叉滚珠轴承
● 寿命：运行距离大于 1000 km
机械特性
● 尺寸：40 × 47.6 × 16.8 mm
● 标准行程：25 — 100 mm
● 重量：81 — 241 g 平台
● 负载：＜1.5 kg
● 锁止力：3 N
● 驱动力：3 N
● 平台材料：阳极氧化铝
● 导线长度：1.5 m
● 接头：15 针 D-sub 接头或者定制LEMO 接头
运动性能（闭环）
● 编码器类型：请选择编码器分辨率
● 光栅周期：1280 µm
● 编码器分辨率：1.25 µm
● 位置分辨率：1.25 µm
● 双向重复精度：± 2.5 µm
● 较大速度：200 mm/s
● 较小速度：2 — 5 µm/s
● 速度稳定性： ± 1%
运动误差
● 直线度/平面度误差： ± 5 — 10 µm（取决于平台长度）
选配
● 真空（10 -6 mbar）：-HV
● 短壳版有较大的行程：-SC
环境兼容性
● 温度范围：-30°C t — +70°C
● 湿度范围：20% — 90% 相对湿度
● 功耗（电机）：＜5 W（48 V），＜6 W（60 V）
控制器/软件
● 兼容 Xeryon 控制
● 简单易用 Windows 软件或者 LavView 驱动
● C++ 以及 Python libraries 提供
产品参数
| 参数/型号 | 推力 N | 行程 mm | 负载 kg | 分辨率 nm | 重复精度 nm | 精度 μm | 速度 |
| XLS-3-40 | 3 |
30 |
1.5 max. |
1250 312 78 5 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 50 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
50 mm/s typ. |
| XLS-3-60 | 3 |
48 |
1.5 max. |
1250 312 78 5 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 50 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
50 mm/s typ. |
| XLS-3-80 | 3 |
69 |
1.5 max. |
1250 312 78 5 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 50 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
50 mm/s typ. |
| XLS-3-120 | 3 |
109 |
1.5 max. |
1250 312 78 5 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 50 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
50 mm/s typ. |
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