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NPS-X-15A薄型快速15微米平台最初是为高速、超精密磁阻磁头和磁盘驱动器检测而设计的。
它的小尺寸和毫秒级响应时间，使其非常适合高可靠性和高通量的应用。低运动质量和高刚性的结合可提供高带宽。紧凑的内置电容式传感器，能够在超过 16 微米的位移范围内提供亚纳米级闭环反馈。柔性铰链导向可实现高纯度的运动，将寄生运动降低至 1 微弧度（典型值）。使用数字闭环控制器，NPS-X-15A (不锈钢)可实现毫秒级的响应和稳定时间。
特性
● ＞15 微米行程，亚纳米级分辨率
● 一阶谐振频率 ＞3 KHz，4 kHz NPS-X-15D
● 毫秒级响应时间，50 g 负载
● 原位扫描和步进响应优化
● 生产测试稳健可靠
● 即插即用设备，停机时间短
应用
● 磁阻磁头和磁盘驱动器检测
● 干涉测量
● 计量
● AFM 探针
推荐控制器
● NPC-D-5200 数字控制器
● NPC-D-6000 系列
产品参数
| 参数/型号 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-X-15A | 不锈钢 |
15 |
3 |
0.005 |
NA. |
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