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NPS-X-28C 最初是为高速、超精密磁阻磁头和磁盘驱动器检测而开发的。它的小尺寸和毫秒级响应时间非常适合用于要求高可靠性和通量的应用。低运动质量和高刚性的结合可提供较高的带宽。
电容式传感器设计能够在超过 28 微米的范围内提供亚纳米级位移测量和闭环反馈。柔性铰链导向可实现高纯度的运动。使用的数字闭环控制器，NPS-X-28C 可实现毫秒级的响应和稳定时间。
特性
● ＞28 μm 行程，亚纳米级分辨率
● 一阶谐振频率 ＞4.5 KHz
● 带宽高达 2 KHz
● 原位扫描和步进响应优化
● 生产测试稳健可靠
● 即插即用设备，停机时间短
应用
● 磁阻磁头和磁盘驱动器检测
● 干涉测量
● 计量
● AFM Z 轴
推荐控制器
NPC-D-5200 或 NPC-D-6330 系列控制器为控制纳米精密装置而设计。它们使用现代 DSP 技术并结合了压电驱动放大器、电容位置传感电路和伺服控制能力。PID（比例、积分、微分）反馈算法的使用大大优化了稳定时间并较大限度的降低了机械共振的影响。软件可帮助用户控制大多数运行参数，包括 PID 环路构建。
产品参数
| 参数/型号 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-X-28C | 钛合金 |
28 |
10 |
＜0.007 |
NA. |
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电话：021-52996090邮箱：sales@raarrow.com传真：021-52996090
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