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隔振平台 控制器 控制手柄 夹具 显微照明光源
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产品描述
NPS-X-60D 可以满足亚纳米精度的高速应用需求。
大负载直驱版本可根据客户系统需求，在 X（水平）或 Z（垂直）方向进行校准。针对不同有效载荷（标准负载高达 6 kg）有不同的校准参数可选，进行快速步进和整定的调校。
特性
● 行程可达 60 µm
● 负载能力高达 10 kg
● 柔性铰链可实现高精度
● 直接式压电促动器实现快速响应
● 电容传感器可直接测量系统的位移量
● 可选择不同配置以优化不同负载下的性能
应用
● 半导体检测中的光学组件定位
● 显微镜物镜座定位
● 精密制造
推荐控制器
● NPC-D-6000 系列
产品参数
| 参数/型号 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-X-60D | X，Z |
铝（镀镍） |
60（闭环） |
水平方向（X）10 垂直方向（X）10 |
0.005 |
0.7 |
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使用手册
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控制器
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